Llamada también espectroscopia de campo o espectroscopia de emisión, la espectroscopia óptica para el estudio de plasmas es una técnica de caracterización que permite conocer las propiedades de un plasma. Suele utilizarse como una herramienta auxiliar en sistemas de crecimiento de láminas delgadas tales como ablación láser y sputtering. En este tipo de procesos se generan plasmas dentro de cámaras de alto vacío.

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  • Llamada también espectroscopia de campo o espectroscopia de emisión, la espectroscopia óptica para el estudio de plasmas es una técnica de caracterización que permite conocer las propiedades de un plasma. Suele utilizarse como una herramienta auxiliar en sistemas de crecimiento de láminas delgadas tales como ablación láser y sputtering. En este tipo de procesos se generan plasmas dentro de cámaras de alto vacío. (es)
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  • Espectroscopia óptica para el estudio de plasmas (es)
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