Diego de Herrera Campuzano fue un gobernador interino de la provincia de Costa Rica. Hijo de Francisco de Palacio Herrera y María de Campuzano Peredo. No contrajo matrimonio. Fue militar y y alcanzó el grado de Sargento Mayor. El 3 de febrero de 1704 la Real Audiencia de Guatemala lo nombró gobernador interino de Costa Rica, para suceder a Francisco Serrano de Reyna y Céspedes, que había sido acusado de comercio ilícito. Tomó posesión en junio de 1704.
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